Was ist SUPERFLAT Si?

SUPERFLAT Si ist eine hochpräzise amorphe Siliziumschicht, die als Polierschicht für Präzisionsspiegel entwickelt wurde. Sie zeichnet sich durch eine extrem niedrige Rauheit (<1 nm) aus und ermöglicht eine präzise Formkorrektur sowie eine verbesserte optische Leistung.

Dank der vielseitigen Anwendungsmöglichkeiten eignet sich SUPERFLAT Si für

• Spiegelbeschichtungen in der Luft- und Raumfahrt,
• industriellen Lasersystemen und
• Optiken in Teleskopen
• Halbleiterindustrie

Die Beschichtung kann auf verschiedenen Metallen, Keramiken und Legierungen aufgetragen werden, ohne die Eigenschaften des Grundmaterials zu beeinträchtigen.

Herausforderungen in der Hochpräzisionsoptik

Ohne eine hochwertige amorphe Siliziumschicht können folgende Herausforderungen auftreten:

• Hohe Oberflächenrauheit – Ungleichmäßige Strukturen beeinträchtigen die optische Leistung und erfordern aufwendige Nachbearbeitung.

• Lange Polierzeiten – Herkömmliche Materialien lassen sich schwer bearbeiten und erhöhen den Fertigungsaufwand.

• Eingeschränkte Materialkompatibilität – Nicht alle Oberflächen eignen sich für herkömmliche Polier- oder Korrekturschichten.

• Reduzierte Reflexionseffizienz – Unebene Beschichtungen mindern die optische Leistung über verschiedene Spektralbereiche.

• Höhere Produktionskosten – Zeit- und ressourcenintensive Prozesse erhöhen die Fertigungskosten und begrenzen die Skalierbarkeit.

SUPERFLAT Si lösen diese Herausforderungen und ermöglichen höchste Präzision bei minimalem Bearbeitungsaufwand.

Ihre Vorteile mit amorphen Siliziumschichten von Miba

• Geringe Rauheit und hohe Reflexionswerte – Rauheitswerte unter 1 nm für höchste optische Präzision-perfekt für die Polierschicht für die Hochpräzisionsoptik.

• Verkürzte Bearbeitungszeiten bis zum Erreichen der finalen Oberflächenrauheit – Weniger Vorbearbeitung nötig, exzellente Bearbeitbarkeit der Schicht.

• Freie Materialwahl des Spiegelmaterials – Endbearbeitung von Superflat Si erfolgt an der Schicht, nicht am Spiegelmaterial.

• Einfache Formkorrekturverfahren innerhalb der Beschichtung – Präzise Anpassung für sphärische, asphärische und Freiform-Optiken.

• Breiter Wellenlängenbereich – Geeignet für Anwendungen von EUV bis IR.

• Homogene Materialeigenschaften – Gleichmäßige Bearbeitbarkeit ab den ersten Nanometern.

Warum Miba?

Miba bietet hochpräzise Beschichtungslösungen, die für maximale Effizienz, Langlebigkeit und Qualität entwickelt wurden.

• Fortschrittliche Fertigungstechnologien – Automatisierte und optimierte Verfahren für höchste Präzision.

• Flexible Produktionskapazitäten – Individuell angepasste Lösungen für Einzelfertigungen sowie für Serienfertigungen.

• Umfassender Service – Unterstützung von der Entwicklung bis zur Serienfertigung, inklusive Verpackung und Logistik.